x射線熒光光譜儀是一種可以快速同時測定多種元素的儀器。樣品經X射線照射后，各元素原子內殼層(K、L或M層)的電子被激發，將原子逐出，引起電子躍遷，發出該元素的特征X射線熒光。每種元素都有其特有的特定波長的X射線。能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)利用熒光X射線能量不同的特點，通過探測器本身的能量分辨能力來區分探測到的X射線。
與波長色散X射線熒光光譜儀相比，使用脈沖高度分析器的能量色散X射線熒光光譜儀具有簡單的結構?？梢允褂玫凸β蔢射線管激發和簡單的分光系統。
光源激發樣品產生的特征X射線直接進入探測器，探測器將光信號轉換成電信號，主放大器輸出的脈沖傳輸到ADC(模數轉換器)，ADC將具有脈沖幅度的模擬信號轉換成數字信號，產生的數字信號作為與MCA連接的地址，然后根據這些地址檢測不同脈沖即X射線的能量，記錄相應的脈沖數。
X射線管發出的特征X射線照射樣品，樣品中含有的元素被X射線激發后會發出具有特定能量的X射線熒光。X射線熒光由檢測器檢測，根據X射線熒光的能量進行定性(確定含有哪些元素)，根據X射線熒光的強度進行定量(確定元素的含量)。