真空等離子清洗機
1.對材料表面的蝕刻作用-物理作用:
等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質，還產生刻蝕，使樣品表面變得粗糙，形成許多微小的凹坑，增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。
2、活化鍵能，交聯:
等離子體中粒子的能量為0~20eV，而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此，等離子體作用于固體表面后，可以打破固體表面原有的化學鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀交聯結構，極大地激活了表面活性。
3、新官能團的形成——化學作用:
如果在放電氣體中引入反應性氣體，活性物質表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等。這些官能團都是活性基團，可以明顯提高材料的表面活性。
等離子體是物質的一種狀態，也稱為物質的第四種狀態，不屬于常見的固液氣三態向氣體施加足夠的能量使其電離為等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團、受激核素(亞穩態)、光子等。
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶劑，這樣清洗后就不會產生有害的污染物，所以這種清洗方法屬于環保綠色清洗方法。這在全球高度關注環境保護的情況下越來越重要；
當清潔和去污完成時，材料本身的表面性質可以得到改善。例如改善表面的潤濕性和改善膜的粘附性，這在許多應用中是非常重要的。