當清潔和去污完成時，材料本身的表面性質可以得到改善。例如改善表面的潤濕性和改善膜的粘附性，這在許多應用中是非常重要的。
等離子清洗使用戶遠離有害溶劑對人體的傷害，同時避免了濕式清洗中清洗對象易被沖走的問題；
真空等離子清洗機
1.對材料表面的蝕刻作用-物理作用:
等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質，還產生刻蝕，使樣品表面變得粗糙，形成許多微小的凹坑，增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。
2、活化鍵能，交聯:
等離子體中粒子的能量為0~20eV，而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此，等離子體作用于固體表面后，可以打破固體表面原有的化學鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀交聯結構，極大地激活了表面活性。
3、新官能團的形成——化學作用:
如果在放電氣體中引入活性氣體，在活性材料的表面會發生復雜的化學反應，產生新的官能團，如烴基、氨基、羧基等。，它們能明顯提高材料的表面活性。
在真空室內，由射頻電源在一定壓力下產生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產品表面，達到清洗目的。