真空等離子清洗機利用等離子體中各種高能物質的活化作用，徹底剝離附著在物體表面的污垢。以氧等離子體去除物體表面的油脂和污垢為例來說明這些作用。等離子體對油垢的作用類似于燃燒油垢。但不同的是，它在低溫下“燃燒”。其基本原理:在氧等離子體中氧原子自由基、受激氧分子、電子和紫外線的共同作用下，油分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，從物體表面被清除。
等離子清洗機的結構主要分為三部分，即控制單元、真空室和真空泵。
首先，控制單元
國內使用的等離子清洗機，包括進口的，有四種控制方式:半自動控制、全自動控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。
控制單元分為兩部分:
1)電源:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要電源匹配器。
2)系統控制單元:分為按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。
二、真空室:
真空室主要分為兩種材料:
1)不銹鋼真空室。
2)應時腔。
三、真空泵:
真空泵分為兩種類型:
1)干式泵。
2)油泵。
真空等離子清洗機
1.對材料表面的蝕刻作用-物理作用:
等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質，還產生刻蝕，使樣品表面變得粗糙，形成許多微小的凹坑，增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。
2、活化鍵能，交聯:
等離子體中粒子的能量為0~20eV，而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此，等離子體作用于固體表面后，可以打破固體表面原有的化學鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀交聯結構，極大地激活了表面活性。
3、新官能團的形成——化學作用:
如果在放電氣體中引入反應性氣體，活性物質表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等。這些官能團都是活性基團，可以明顯提高材料的表面活性。
無線電波范圍內的高頻產生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強，可以深入到物體的微孔和凹陷處完成清潔任務，所以不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗相似甚至更好；