等離子清洗機的結構主要分為三部分，即控制單元、真空室和真空泵。
首先，控制單元
國內使用的等離子清洗機，包括進口的，有四種控制方式:半自動控制、全自動控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。
控制單元分為兩部分:
1)電源:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要電源匹配器。
2)系統控制單元:分為按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。
二、真空室:
真空室主要分為兩種材料:
1)不銹鋼真空室。
2)應時腔。
三、真空泵:
真空泵分為兩種類型:
1)干式泵。
2)油泵。
真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。
等離子清洗機就是利用這些活性成分的特性來處理樣品表面，從而達到清洗和鍍膜的目的。
等離子清洗后清洗對象干燥，無需干燥即可送入下一道工序?？梢蕴岣哒麠l生產線的加工效率；