真空等離子清洗機利用等離子體中各種高能物質的活化作用，徹底剝離附著在物體表面的污垢。以氧等離子體去除物體表面的油脂和污垢為例來說明這些作用。等離子體對油垢的作用類似于燃燒油垢。但不同的是，它在低溫下“燃燒”。其基本原理:在氧等離子體中氧原子自由基、受激氧分子、電子和紫外線的共同作用下，油分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，從物體表面被清除。
等離子清洗機又稱等離子清洗機或等離子表面處理儀器，是一種全新的高科技技術，利用等離子體達到常規清洗方法無法達到的效果。
等離子清洗機就是利用這些活性成分的特性來處理樣品表面，從而達到清洗和鍍膜的目的。
當清潔和去污完成時，材料本身的表面性質可以得到改善。例如改善表面的潤濕性和改善膜的粘附性，這在許多應用中是非常重要的。