等離子體清洗要控制的真空度約為100Pa，容易實現。因此，這種裝置的設備成本不高，清洗過程也不
無線電波范圍內的高頻產生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強，可以深入到物體的微孔和凹陷處完成清潔任務，所以不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗相似甚至更好；
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶劑，這樣清洗后就不會產生有害的污染物，所以這種清洗方法屬于環保綠色清洗方法。這在全球高度關注環境保護的情況下越來越重要；
真空等離子清洗機產品的優勢:
1.超大加工空間，提高加工能力，采用PLC觸摸屏控制系統控制設備運行。
2.設備腔體的容量和層數可根據客戶要求定制，滿足客戶需求。
3、維護成本低，便于客戶成本控制。
4.精度高，反應快，機動性和兼容性好，功能完善，技術支持好。
5.真空等離子清洗機表面活化的原理增強附著力，主要適用于生物醫藥行業、印刷電路板行業、半導體IC領域、硅膠、塑料、聚合物領域、汽車電子行業、航空工業等。