x射線和β射線法為非接觸式無損測量，測量范圍小。x射線法可以測量極薄的涂層、雙層涂層和合金涂層。β射線法適用于原子序數大于3的涂層和鍍層的測量。電容法僅在測量薄導體的絕緣涂層厚度時使用。
Ux-720高壓電源
功能:為X射線管提供穩定的高壓。
輸入電壓:DC+24V±10%
輸出電壓:0 -50KV 1mA
功率:50W
電壓調整率:0.01%(從空載到滿載)
電流調整率:0.01%(從空載到滿載)
紋波電壓:在輸出額定電壓的前提下，紋波電壓的峰值為輸出電壓的0.25%。
8小時穩定性:≤0.05%
Ux-720光導管
作用:產生X射線激發樣品，使被激發樣品中的各元素發出二次X射線。
使用壽命:使用壽命大于15000小時。
電壓:0 ~ 50千伏
功率:50 W
目標材料:鉬
Be窗厚度:400um
Ux-720儀器技術指標
1.分析元素范圍:Na-U
2.檢測范圍:1ppm-99.99%
3.檢測厚度:1納米
4.檢測厚度上限，30-50um(取決于材料)
5.檢測涂層數量:1-10。
6.測量時間:30-150秒(系統自動調整)
7.分辨率:145±5eV
8.準直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自動切換。
9.濾光片:五種濾光片自動切換。
10.CCD觀察:260萬像素高清CCD。
11.樣品微動范圍:XY15mm。
12.儀器尺寸:680(寬)x400(深)x390(高)毫米
13.樣品腔尺寸:300 * 360 * 100mm
14.輸入電源:AC220V~240V，50/60Hz。
15.額定功率:350W
16.重量:約45Kg
17.工作環境溫度:15-30℃。
18.工作環境相對濕度:≤85%(無凝露)
19.穩定性:重復測量誤差小于0.1%。