等離子清洗可以處理各種材料，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等聚合物)。所以特別適合不耐熱不耐溶劑的材料。還可以選擇性地部分清洗材料的整體、局部或復雜結構；
等離子清洗機又稱等離子清洗機或等離子表面處理儀器，是一種全新的高科技技術，利用等離子體達到常規清洗方法無法達到的效果。
等離子體是物質的一種存在狀態。通常情況下，物質以固態、液態和氣態三種狀態存在，但在某些特殊情況下會出現第四種狀態，比如地球大氣層中電離層中的物質。
在真空室內，由射頻電源在一定壓力下產生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產品表面，達到清洗目的。