涂層厚度的測量方法主要有:楔形切割法、光切法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線背散射法、電容法、磁性測量法和渦流測量法。這些方法的前五種都是破壞性檢測，比較繁瑣，速度慢，大多適合抽樣檢驗。
隨著科技的發展，特別是近年來微機技術的引入，X射線涂層測厚儀的使用向著小型化、智能化、多功能、高精度和實用化邁進了一步。測量的分辨率達到了0.1微米，精度可以達到1%，有了很大的提高。由于其應用范圍廣、測量范圍寬、操作簡單、價格低廉，在工業和科研中得到廣泛應用。
Ux-720光導管
作用:產生X射線激發樣品，使被激發樣品中的各元素發出二次X射線。
使用壽命:使用壽命大于15000小時。
電壓:0 ~ 50千伏
功率:50 W
目標材料:鉬
Be窗厚度:400um
Ux-720檢測系統
功能:檢測樣品的特征X射線，對采集的信號進行處理，并將處理結果傳送給計算機。
型號:Si-PIN X-123(美國進口)
是窗戶嗎？？？:1毫米(0.0254毫米)
分辨率:145±5eV
系統峰背比:≥ 6200/1
能量響應范圍:1千電子伏-40千電子伏
推薦計數率:5000cps