處于等離子體狀態的物質有以下幾種:高速運動的電子；處于活化狀態的中性原子、分子和原子團(自由基)；離子化的原子和分子；未反應的分子、原子等。，但該物質整體上保持電中性。
真空等離子清洗機表面活化增強附著力的原理包括反應室、電源和真空泵組。當樣品放入反應室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產生等離子體，然后向反應室內通入氣體，使室內的等離子體變成反應等離子體，與樣品表面反應產生揮發性副產物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應，可以用來活化、刻蝕和去污材料表面，提高材料的摩擦系數、附著力和親水性。
無線電波范圍內的高頻產生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強，可以深入到物體的微孔和凹陷處完成清潔任務，所以不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗相似甚至更好；
真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。