ROHS檢測儀能準確檢測有害重金屬物質如鉛、汞、鎘、六價鉻、乙醚等，廣泛應用于電子產品生產、玩具制造、五金制造、海關、質檢機構等領域。
ROHS儀器是專門用來測量電子電氣設備是否含有以下六種有害物質的。原理是利用X射線檢測RoHS標準中規定的元素含量。
Rohs分析儀包括氣象色譜(GC)、液相色譜(HPLC)、離子色譜(IC)、制備液相色譜、薄層色譜(TLC/TLCS)、毛細管電泳/電色譜(CE/CEC)、凝膠色譜(GPC)、超臨界流體色譜(SFC)、高速逆流色譜等儀器設備。
質譜包括氣相色譜-質譜(GC-MS)、液相色譜-質譜(LC-MS)、等離子體質譜、ICP-MS、氣體質譜、生物質譜、有機質譜、有機質譜、其他質譜、核磁共振譜儀、電子順磁共振譜儀(ESR)、能譜儀、衍射儀和無機-質譜儀。
電化學分析儀包括自動電位滴定儀、電化學工作站、電導率儀、溴指數儀、電泳儀、電位分析儀、離子分析儀、電解質分析儀、極譜儀、庫侖計、ORP分析儀等。
元素分析儀包括ROHS指令分析儀、鹵素分析儀、氣體元素分析儀、材料分析儀、金屬元素分析儀、氮分析儀、汞分析儀、碳硫分析儀、硫氮分析儀、甲醛/氨分析儀、氧分析儀、碳氫化合物分析儀、氡分析儀、碳硅分析儀等。
RoHS探測器GCMS可以用來測試室內有毒物質，但這種成本很高。一般用紫外分光光度計檢測分析甲醛含量是否超標。