真空等離子清洗機
1.對材料表面的蝕刻作用-物理作用:
等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質，還產生刻蝕，使樣品表面變得粗糙，形成許多微小的凹坑，增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。
2、活化鍵能，交聯:
等離子體中粒子的能量為0~20eV，而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此，等離子體作用于固體表面后，可以打破固體表面原有的化學鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀交聯結構，極大地激活了表面活性。
3、新官能團的形成——化學作用:
如果在放電氣體中引入反應性氣體，活性物質表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等。這些官能團都是活性基團，可以明顯提高材料的表面活性。
等離子清洗機的結構主要分為三部分，即控制單元、真空室和真空泵。
首先，控制單元
國內使用的等離子清洗機，包括進口的，有四種控制方式:半自動控制、全自動控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。
控制單元分為兩部分:
1)電源:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要電源匹配器。
2)系統控制單元:分為按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。
二、真空室:
真空室主要分為兩種材料:
1)不銹鋼真空室。
2)應時腔。
三、真空泵:
真空泵分為兩種類型:
1)干式泵。
2)油泵。
等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質狀態，也叫物質第四態。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、受激核素(亞穩態)、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質對樣品表面進行處理，從而達到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。
等離子清洗后清洗對象干燥，無需干燥即可送入下一道工序?？梢蕴岣哒麠l生產線的加工效率；