x射線和β射線法為非接觸式無損測量，測量范圍小。x射線法可以測量極薄的涂層、雙層涂層和合金涂層。β射線法適用于原子序數大于3的涂層和鍍層的測量。電容法僅在測量薄導體的絕緣涂層厚度時使用。
Ux-720光導管
作用:產生X射線激發樣品，使被激發樣品中的各元素發出二次X射線。
使用壽命:使用壽命大于15000小時。
電壓:0 ~ 50千伏
功率:50 W
目標材料:鉬
Be窗厚度:400um
Ux-720高分辨率CCD
260萬像素的高清CCD攝像機可以有效地實時觀察測試區域的情況，并拍攝材料的照片，作為測試報告的一部分。
隨著科技的發展，特別是近年來微機技術的引入，X射線涂層測厚儀的使用向著小型化、智能化、多功能、高精度和實用化邁進了一步。測量的分辨率達到了0.1微米，精度可以達到1%，有了很大的提高。由于其應用范圍廣、測量范圍寬、操作簡單、價格低廉，在工業和科研中得到廣泛應用。