等離子體清洗要控制的真空度約為100Pa，容易實現。因此這種裝置的設備成本不高，清洗過程不需要使用昂貴的有機溶劑，使得整體成本低于傳統的濕法清洗工藝；
真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。
使用等離子清洗可以大大提高清洗效率。整個清洗過程可以在幾分鐘內完成，因此具有成品率高的特點；
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶劑，這樣清洗后就不會產生有害的污染物，所以這種清洗方法屬于環保綠色清洗方法。這在全球高度關注環境保護的情況下越來越重要；