等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質狀態，也叫物質第四態。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、受激核素(亞穩態)、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質對樣品表面進行處理，從而達到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。
等離子清洗機就是利用這些活性成分的特性來處理樣品表面，從而達到清洗和鍍膜的目的。
在真空室內，由射頻電源在一定壓力下產生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產品表面，達到清洗目的。
等離子體是物質的一種存在狀態。通常情況下，物質以固態、液態和氣態三種狀態存在，但在某些特殊情況下會出現第四種狀態，比如地球大氣層中電離層中的物質。