等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質狀態，也叫物質第四態。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、受激核素(亞穩態)、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質對樣品表面進行處理，從而達到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。
等離子體是物質的一種狀態，也稱為物質的第四種狀態，不屬于常見的固液氣三態向氣體施加足夠的能量使其電離為等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團、受激核素(亞穩態)、光子等。
真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。
等離子清洗的使用避免了清洗液的運輸、儲存、排放等處理措施，生產現場易于保持清潔衛生；