處于等離子體狀態的物質有以下幾種:高速運動的電子；處于活化狀態的中性原子、分子和原子團(自由基)；離子化的原子和分子；未反應的分子、原子等。，但該物質整體上保持電中性。
真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。
等離子清洗的使用避免了清洗液的運輸、儲存、排放等處理措施，生產現場易于保持清潔衛生；
等離子清洗機就是利用這些活性成分的特性來處理樣品表面，從而達到清洗和鍍膜的目的。