等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質狀態，也叫物質第四態。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、受激核素(亞穩態)、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質對樣品表面進行處理，從而達到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。
真空等離子清洗機產品的優勢:
1.超大加工空間，提高加工能力，采用PLC觸摸屏控制系統控制設備運行。
2.設備腔體的容量和層數可根據客戶要求定制，滿足客戶需求。
3、維護成本低，便于客戶成本控制。
4.精度高，反應快，機動性和兼容性好，功能完善，技術支持好。
5.真空等離子清洗機表面活化的原理增強附著力，主要適用于生物醫藥行業、印刷電路板行業、半導體IC領域、硅膠、塑料、聚合物領域、汽車電子行業、航空工業等。
等離子清洗使用戶遠離有害溶劑對人體的傷害，同時避免了濕式清洗中清洗對象易被沖走的問題；
處于等離子體狀態的物質有以下幾種:高速運動的電子；處于活化狀態的中性原子、分子和原子團(自由基)；離子化的原子和分子；未反應的分子、原子等。，但該物質整體上保持電中性。