在真空室內，由射頻電源在一定壓力下產生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產品表面，達到清洗目的。
等離子清洗機的結構主要分為三部分，即控制單元、真空室和真空泵。
首先，控制單元
國內使用的等離子清洗機，包括進口的，有四種控制方式:半自動控制、全自動控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。
控制單元分為兩部分:
1)電源:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要電源匹配器。
2)系統控制單元:分為按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。
二、真空室:
真空室主要分為兩種材料:
1)不銹鋼真空室。
2)應時腔。
三、真空泵:
真空泵分為兩種類型:
1)干式泵。
2)油泵。
真空等離子清洗機產品的優勢:
1.超大加工空間，提高加工能力，采用PLC觸摸屏控制系統控制設備運行。
2.設備腔體的容量和層數可根據客戶要求定制，滿足客戶需求。
3、維護成本低，便于客戶成本控制。
4.精度高，反應快，機動性和兼容性好，功能完善，技術支持好。
5.真空等離子清洗機表面活化的原理增強附著力，主要適用于生物醫藥行業、印刷電路板行業、半導體IC領域、硅膠、塑料、聚合物領域、汽車電子行業、航空工業等。
等離子清洗使用戶遠離有害溶劑對人體的傷害，同時避免了濕式清洗中清洗對象易被沖走的問題；