真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。
在真空室內，由射頻電源在一定壓力下產生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產品表面，達到清洗目的。
無線電波范圍內的高頻產生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強，可以深入到物體的微孔和凹陷處完成清潔任務，所以不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗相似甚至更好；
等離子清洗的使用避免了清洗液的運輸、儲存、排放等處理措施，生產現場易于保持清潔衛生；