等離子體清洗要控制的真空度約為100Pa，容易實現。因此這種裝置的設備成本不高，清洗過程不需要使用昂貴的有機溶劑，使得整體成本低于傳統的濕法清洗工藝；
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶劑，這樣清洗后就不會產生有害的污染物，所以這種清洗方法屬于環保綠色清洗方法。這在全球高度關注環境保護的情況下越來越重要；
當清潔和去污完成時，材料本身的表面性質可以得到改善。例如改善表面的潤濕性和改善膜的粘附性，這在許多應用中是非常重要的。
等離子清洗的使用避免了清洗液的運輸、儲存、排放等處理措施，生產現場易于保持清潔衛生；