真空等離子清洗機表面活化增強附著力的原理包括反應室、電源和真空泵組。當樣品放入反應室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產生等離子體，然后向反應室內通入氣體，使室內的等離子體變成反應等離子體，與樣品表面反應產生揮發性副產物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應，可用于材料表面的活化、刻蝕和去污，提高材料的摩擦系數、附著力和親水性。
等離子清洗機就是利用這些活性成分的特性來處理樣品表面，從而達到清洗和鍍膜的目的。
真空等離子清洗機利用等離子體中各種高能物質的活化作用，徹底剝離附著在物體表面的污垢。以氧等離子體去除物體表面的油脂和污垢為例來說明這些作用。等離子體對油垢的作用類似于燃燒油垢。但不同的是，它在低溫下“燃燒”。其基本原理:在氧等離子體中氧原子自由基、受激氧分子、電子和紫外線的共同作用下，油分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，從物體表面被清除。
等離子清洗使用戶遠離有害溶劑對人體的傷害，同時避免了濕式清洗中清洗對象易被沖走的問題；