涂層厚度的測量方法主要有:楔形切割法、光切法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線背散射法、電容法、磁性測量法和渦流測量法。這些方法的前五種都是破壞性檢測，比較繁瑣，速度慢，大多適合抽樣檢驗。
Ux-720儀器技術指標
1.分析元素范圍:Na-U
2.檢測范圍:1ppm-99.99%
3.檢測厚度:1納米
4.檢測厚度上限，30-50um(取決于材料)
5.檢測涂層數量:1-10。
6.測量時間:30-150秒(系統自動調整)
7.分辨率:145±5eV
8.準直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自動切換。
9.濾光片:五種濾光片自動切換。
10.CCD觀察:260萬像素高清CCD。
11.樣品微動范圍:XY15mm。
12.儀器尺寸:680(寬)x400(深)x390(高)毫米
13.樣品腔尺寸:300 * 360 * 100mm
14.輸入電源:AC220V~240V，50/60Hz。
15.額定功率:350W
16.重量:約45Kg
17.工作環境溫度:15-30℃。
18.工作環境相對濕度:≤85%(無凝露)
19.穩定性:重復測量誤差小于0.1%。
Ux-720儀器標配設備參數。
1.計算機
CPU:英特爾雙核內存:2G
硬盤:500G顯示器:19英寸
2.噴墨式打印機
彩色噴墨打印機
3、儀器附件及技術數據
50片測試膠片
五個保險管
保修卡。
批準證書
儀器操作手冊
輻射安全檢查報告
Ux-720檢測系統
功能:檢測樣品的特征X射線，對采集的信號進行處理，并將處理結果傳送給計算機。
型號:Si-PIN X-123(美國進口)
是窗戶嗎？？？:1毫米(0.0254毫米)
分辨率:145±5eV
系統峰背比:≥ 6200/1
能量響應范圍:1千電子伏-40千電子伏
推薦計數率:5000cps