真空等離子清洗機表面活化增強附著力的原理包括反應室、電源和真空泵組。當樣品放入反應室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產生等離子體，然后向反應室內通入氣體，使室內的等離子體變成反應等離子體，與樣品表面反應產生揮發性副產物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應，可用于材料表面的活化、刻蝕和去污，提高材料的摩擦系數、附著力和親水性。
真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。
等離子清洗使用戶遠離有害溶劑對人體的傷害，同時避免了濕式清洗中清洗對象易被沖走的問題；
等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質狀態，也叫物質第四態。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、受激核素(亞穩態)、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質對樣品表面進行處理，從而達到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。