等離子清洗可以處理各種材料，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等聚合物)。所以特別適合不耐熱不耐溶劑的材料。還可以選擇性地部分清洗材料的整體、局部或復雜結構；
處于等離子體狀態的物質有以下幾種:高速運動的電子；處于活化狀態的中性原子、分子和原子團(自由基)；離子化的原子和分子；未反應的分子、原子等。，但該物質整體上保持電中性。
等離子清洗機就是利用這些活性成分的特性來處理樣品表面，從而達到清洗和鍍膜的目的。
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶劑，這樣清洗后就不會產生有害的污染物，所以這種清洗方法屬于環保綠色清洗方法。這在全球高度關注環境保護的情況下越來越重要；