真空等離子清洗機表面活化增強附著力的原理包括反應室、電源和真空泵組。當樣品放入反應室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產生等離子體，然后向反應室內通入氣體，使室內的等離子體變成反應等離子體，與樣品表面反應產生揮發性副產物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應，可以用來活化、刻蝕和去污材料表面，提高材料的摩擦系數、附著力和親水性。
等離子清洗機就是利用這些活性成分的特性來處理樣品表面，從而達到清洗和鍍膜的目的。
等離子清洗機又稱等離子清洗機或等離子表面處理儀器，是一種全新的高科技技術，利用等離子體達到常規清洗方法無法達到的效果。
等離子清洗的使用避免了清洗液的運輸、儲存、排放等處理措施，生產現場易于保持清潔衛生；