X射線管發出的特征X射線照射樣品，樣品中含有的元素被X射線激發后會發出具有特定能量的X射線熒光。X射線熒光由檢測器檢測，根據X射線熒光的能量進行定性(確定含有哪些元素)，根據X射線熒光的強度進行定量(確定元素的含量)。
X射線熒光光譜儀由激發源(X射線管)和檢測系統組成。X射線管產生入射X射線(初級X射線)，激發被測樣品并產生X射線熒光(次級X射線)，檢測器檢測X射線熒光。
被激發樣品中的每個元素都會發出次級X射線，不同元素發出的次級X射線具有特定的能量特征或波長特征。探測系統測量這些發射的次級X射線的能量和數量。然后，儀器軟件將檢測系統采集的信息轉換成樣品中各種元素的種類和含量。
Ux-2100 Plus儀器安裝使用注意事項
1.儀器就位前，請連接左圖，保證儀器的使用空間；
2.使用環境要求無強電磁干擾，無腐蝕性氣體；
3.使用溫度變化不超過5℃/小時，濕度保證不結露；
4.儀器需要可靠的獨立接地，對地電阻應≤4ω；
5.測試小件物品時，請使用樣品杯裝置或用聚脂薄膜密封測試孔，并定期清潔樣品室。清洗時，用膠帶封住測試孔，確保沒有異物掉入儀器內損壞儀器；
6.本儀器為輻射裝置，不要通電開機；
7.儀器出現故障，請及時通知廠家，不要自行維修造成維修損失；
8.本儀器為精密儀器，需小心處理，否則可能造成人為損壞。