在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的．
真空等離子清洗機技術作為一種新型的材料表面改性方法，以等離子清洗機低能耗、污染小、處理時間短、效果明顯的特點引起了人們的關注。等離子清洗機在眾多的改性方法中，低溫等離子清洗機是近年來發展較快的方法，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。
使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛生；
等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。