當晶閘管損壞需要檢查分析時，可將鐵芯從冷卻套中取出，打開芯盒后取出芯片，觀察損壞痕跡，確定原因。以下是對幾種常見現象的分析。
1.電壓擊穿。晶閘管因為承受不了電壓而損壞，其芯片上有一個光滑的孔，有時需要用放大鏡才能看到。原因可能是燈管本身的耐壓下降或者電路斷開時被高壓擊穿。
2.電流被破壞了。電流損傷的痕跡表現為芯片被燒成凹坑，凹坑粗糙，位置遠離控制電極。
目前的上升率受損。其跡線和電流損壞，在控制電極附近或上。
3.邊緣受損。發生在芯片外圓倒角處，有小而光滑的孔。用放大鏡可以看到倒角面上有細小的金屬劃痕。這是由于制造商安裝不小心造成的。會導致電壓擊穿。