氧分析儀，純物理測量，不需要參考氣體，沒有化學藥品和電解質的消耗。該儀器具有精度高、操作簡單、測定速度快等優點，只需將儀器與樣氣出口對接，即可在5分鐘內顯示出氧氣純度值。
氧分析儀是氣體成分分析和檢驗的工具，利用它可以獲得某些成分類型和含量的數據。但是氣體分析儀器不是一個簡單的工具，既沒有流量計、壓力表那么簡單，也沒有各種熱工儀表那么容易操作和使用。氧氣分析儀是一種結構復雜、技術難度大的工具，而使用氣體分析儀又是一項復雜而困難的技術。一般來說，氣體分析儀器的應用本身是一項特殊的技術工作，也是一項研究工作。
氧分析儀作為一種精密分析儀器，廣泛應用于石油、化工、制藥、空分等領域。其檢測目的包括過程控制、殘余氧監測等。根據不同的工藝要求，需要配置不同原理的氧分析儀。
氧分析儀是一種工業在線過程氧分析儀，不僅廣泛用于檢測加熱爐、化學反應容器、地下井、工業制氮等場合的混合氣體中的氧濃度，還廣泛用于波峰焊、回流焊、電子和半導體行業的焊接爐、惰性氣體燒結爐等保護氣體的在線氧分析。
氧分析儀的種類很多，按測量原理可分為氧化鋯氧分析儀、氧化鋯氧分析儀、電化學氧分析儀(燃料電池)氧分析儀和離子流氧分析儀。按測量范圍可分為:定氧分析儀、微量氧分析儀、高氧分析儀；按通電方式可分為:在線煙霧分析儀和便攜式氧氣分析儀。
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