等離子體狀態中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。
清洗對象經等離子清洗之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€工藝流水線的處理效率；
等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
一、控制單元
國內使用的等離子清洗機，包括國外進口的，控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。
而控制單元又分為兩個大的部分：
1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的。
2）系統控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。
二、真空腔體：
真空腔體主要是分為兩種材質的：
1）不銹鋼真空腔體。
2）石英腔體。
三、真空泵：
真空泵分為兩種：
1）干泵。
2）油泵。
等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。