ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。X射線熒光光譜儀通?？煞譃閮纱箢?，波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀主要部件包括激發源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發源和探測器和相關電子與控制部件，相對簡單。
可用RoHS檢測儀GCMS測試室內有毒物質，但是這個成本較高。一般用紫外分光溫度計測試分析甲醛含量是否超標。
RoHS儀器是專門用于測量電子電器設備中是否含有以下六類有害物質的儀器·原理是利用X射線檢測ROHS標準規定中的元素的含量。
RoHS檢測儀目前市場上常見的類型是X射線熒光分析儀，又分為能量色散型和波長色散型，能量色散型因其技術原理及結構比波長色散型簡單，現市場上比較常見，其技術原理：
特征X射線
放射性同位素源或X射線發生器放出的X射線或Γ射線與樣品中元素的原子相互作用，逐出原子內層電子。當外層電子補充內層電子時，會放射該原子所固有能量的X射線-特征X射線。