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當電機通電時，機械振動(加速/減速期間)會導致此類故障。常見的原因有:①脈沖編碼器故障。這時要檢查伺服系統是否穩定，電路板維修檢測電流是否穩定，速度檢測單元反饋線端子電壓是否在某個點下降。如果有跌落，則脈沖編碼器壞了，并更換編碼器；②脈沖編碼器交叉聯軸器可能損壞，導致軸速與檢測速度不同步，更換聯軸器；③測速發電機故障。修理并更換轉速表。在維修實踐中，轉速表的機電刷經常磨損和卡死。這時要把轉速表的電刷拆下來，用鋼砂紙打磨幾遍，把換向器的污垢清理干凈，重新裝上。第三， 主軸不能定向運動或定向運動不到位。出現這種伺服系統故障:對于這種故障，要在檢查方向控制電路、方向板、主軸控制印刷電路板的設定調整的同時，檢查位置檢測器(編碼器)的輸出波形是否正常，以此來判斷編碼器是否良好(設備正常時要注意記錄編碼器的正常輸出波形，以便故障發生時正確檢查)。四、坐標軸進給時的振動:坐標軸進給時的振動要檢查電機線圈、機械進給絲杠與電機的連接、伺服系統、脈沖編碼器、聯軸器、轉速表。