臭氧是一種有害氣體。濃度為6.25×10 -6 mol/L(0.3mg/m3)時，對眼、鼻、喉有刺激作用。濃度為(6.25-62.5) × 10-5 mol/L (3-30 mg/m3)時，出現頭痛和呼吸器官局部麻痹。當臭氧濃度為3.125× 10-4 ~ 1.25× 10-3摩爾/升(15 ~ 60毫克/立方米)時，對人體有害。其毒性也與接觸時間有關。比如長期接觸1.748×10 -7 mol/L(4ppm)以下的臭氧會引起* * *心臟紊亂，但接觸20ppm以下的臭氧少于2小時對人體無害。因此，臭氧濃度允許值設定為4.46×10 -9 mol/L(0.1ppm)，持續8小時。由于臭氧有強烈的氣味，當濃度為4.46× 10-9 mol/L (0.1 ppm)時，人會有感覺。因此，臭氧在世界上已經使用了100多年，至今沒有發現一例因臭氧中毒而死亡的病例。
臭氧具有強氧化性，臭氧化的空氣對除金和鉑以外的幾乎所有金屬都有腐蝕作用。鋁、鋅、鉛接觸臭氧會被強烈氧化，而含鉻、鐵的合金基本不被臭氧腐蝕?；谶@一點，生產中經常使用含25% Cr的鉻鐵合金(不銹鋼)來制造臭氧發生設備和填充設備中與臭氧直接接觸的部件。
臭氧對非金屬材料也有很強的腐蝕作用。即使是在其他地方使用相當穩定的PVC塑料過濾板，在用于臭氧填充設備后不久也出現了松動、破裂和穿孔。在臭氧發生設備和計量設備中，不能使用普通橡膠作為密封材料，必須使用抗腐蝕性強的硅橡膠或耐酸橡膠。
需要臭氧檢測儀來檢測空氣中的臭氧濃度，避免空氣污染。臭氧檢測儀主要由低壓紫外燈、光波過濾器、入射紫外反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示器和電路元件組成。
