品牌：TMC
型號：STACIS? III
STACIS?III是zui 先 jin的主動振動隔離系統。采用先進的慣性振動傳感器，復雜的控制算法，和zui 先 jin的壓電致動器。STACIS通過連續測量地板活動、擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時隔離振動。
最初被設計用于先進半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備的隔振，STACIS現在是嘈雜環境中敏感儀器的行業標準解決方案，包括但不局限于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備和材料研究。
STACIS III包括一個新型改進的數字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型雙核處理器，以太網和USB串口，這個新型先進控制系統為用戶提供了一個現代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。
擁有在世界各地的數百個成功安裝案例，STACIS對于大部分振動敏感儀器來說都是zui 理 xiang的振動消除系統。
