品牌：維意真空
型號：wayes-KS
快速退火爐技術資料
??開啟式RTP快速升溫退火爐是一款功能強大的加熱設備。該產品采用國際先進制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實現自動分離，爐體上下可以自由打開，安全可靠。爐管采用內管和外管套疊，通過內管進氣外管出氣使得通入的氣氛充分與樣品接觸，測溫熱電偶直接和盛放樣品接觸，保證樣品的溫度精準。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，不僅能夠保持其能量的最低損耗，還能增強高溫穩定性，可有效減少熱能損耗。并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域，該系統可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長，以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。采用雙管設計，是制作石墨烯最好的方法，爐體和爐管可以自由滑動，氣體和溫度及真空之間可以同步控制，可以同時實現自動化工藝，觸摸屏操作，人機界面更智能更人性化。由于可以實現系統化控制，對于操作和實驗的重復性會非常有幫助。
項目 | 主要技術指標 | 數據 | |
規格型號 ? | 額定溫度 | 1000℃ | |
穩定狀態溫度范圍 | 100～1050℃ | ||
溫度測量精度 | ±0.2℃ | ||
溫度控制重復性 | ±1℃ | ||
溫度控制精確度 | ±1℃ | ||
最快升溫速率 | 200℃/S（可根據客戶需求定制） | ||
降溫速率 | 1～300，可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時自動啟動流量計閥控控制氣體冷卻,實現全自動智能控制 | ||
溫度控制模式 | 智能模糊全閉環控制 | ||
觸摸屏 | 7"LCD?智能操作系統 | ||
物理指標 | 最大功率（KW） | 15 | |
額定電壓 | AC380V 50HZ | ||
傳感器類型 | K型 | ||
反應腔室外徑尺寸 | Φ100×580 | ||
式樣有效空間 | 3'' | ||
抽氣端口尺寸 | KF25 | ||
供氣口尺寸 | Φ6mm雙卡套 | ||
冷卻方式 | 自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） | ||
特色功能 | 爐膛移動 | 移動速度可以設定，速度從5mm/min-1000mm/min連續可調 | |
超壓保護 | 支持彩屏設定超壓保護值。保證系統的安全可靠。超過設定壓力自動關閉進氣閥，打開出氣閥 | ||
壓力恒定 | 支持系統設定恒定壓力值，系統自動均衡壓力恒定范圍從5Pa-130Kpa | ||
疲勞試驗 | 系統支持老化試驗，只需設置老化次數，系統安裝預設程序動作 | ||
? | 自動冷卻 | 程序運行結束后，系統自動啟動通氣冷卻功能，直到達到預定溫度，系統自動關閉冷卻功能。 | |
? | 可以根據客戶需求定制 |
