品牌：晨立擴散爐
型號：CL
類型：高溫擴散爐，臥式擴散爐
用途：用于大規模集成電路、電力電子、光 電器件、光導纖維等行業的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。
功率：1kw
外形尺寸：1mm
重量：1kg
爐管數：1～4管
配工藝管口徑：Φ90～360 mm 3～12英寸
恒溫區長度：760～1500 mm
單點穩定性：±1.0℃/24h 300～800℃ ±0.5℃/24h 800～1280℃
氣源路數：≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
| | 臥式擴散爐--擴散爐 | 擴散爐--高溫擴散爐，臥式擴散爐，晨立簡單介紹： --高溫擴散爐，臥式擴散爐，晨立 設備用途：用于大規模集成電路、電力電子、光??? 電器件、光導纖維等行業的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。 設備特點：單元組合方式。根據工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。???? 主要技術指標： ★ 爐管數：1～4管 ★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸) ★?恒溫區長度：?760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)? 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃) ★?單點穩定性：?±1.0℃/24h (300～800℃)??? ±0.5℃/24h (800～1280℃) ★?氣源路數：??? ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器 ★?氣體控制：??? 浮子/質量流量計 ★?懸臂舟參數：?速度：??? 20～1000 mm/min??? 最大行程：2000 mm?? ?定位精度：±1 mm??? 最大載荷：17 Kg ★?超凈工作臺：?凈化等級：100級（萬級廠房） 噪音：??? ≤62dB（A） 振動：??? ≤3μm 晨立最新擴散爐設備新鮮出爐,技術和質量已達國際水平,受到半導體設備制造企業和半導體行業高度關注.可完全替代國外同規格高端產品滿足不同工藝的要求. | | 擴散爐爐體 | 一、爐體材料: ★?? 爐絲：Φ8～Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。 ★?? 絕緣子:采用99瓷制作，碳化硅管用高腳，石英管用矮腳。 ★?? 保溫棉: 采用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。 ★??? 外殼: 304不銹鋼板卷制而成,連接處采用不銹鋼拉鉚釘連接。 ★??? 熱偶座：進口彈簧卡狀固定座。 ★??? 把口環：陶瓷纖維把口環，既保溫，又有一定機械強度。? 二、爐體參數: ★???? 工作溫度：?? ≤1300℃ ★????? 恒溫區長度： 500mm-1000mm ★??? 爐體內徑：?? Φ90～Φ360 mm（3～12英寸） ★?? 規范使用：?? 壽命可達20個月以上（1200℃） ★?? 替代進口：?? 全方位配套 三、應用： ?????? 青島晨立電子有限公司生產的擴散爐體主要用做半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置?？膳c美國TEMPRESS、THERMCO，荷蘭ASM，英國BTU等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），采用國外先進的加工工藝，選用進口材料，可應用于處理3～12英寸硅片的擴散爐、太陽能電池片擴散爐 |
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