凈化車間設計

凈化車間設計

凈化車間最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的*。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

凈化車間一般結構材料：

1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造 　　

2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。 　　

3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。 　　

4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

溫度測試方法：

溫度測試是確認空氣處理設施的溫度控制能力，溫度測試應在車間進行調試，氣流均勻性測試完成，并在凈化空調系統連續運行24H以上后進行。車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴格控制溫度精度時或建設方要求在“靜態"或“動態"進行測試時應用;一般溫度測試主要使用于“空態"時溫度測試。

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