上海蘊匠貿易有限公司銷售德國PFEIFFER泵、PFEIFFER真空泵、PFEIFFER
真空計、PFEIFFER隔膜泵、PFEIFFER電磁閥、PFEIFFER接頭、PFEIFFER泄
露感應器等全系列產品。
PFEIFFER全稱為Pfeiffer Vacuum Technology AG，總部位于德國阿斯拉
爾，創立于1890年，是真空技術與真空泵供應商。品牌憑借技術積淀，在
真空領域樹立了品質標桿，尤其在渦輪分子泵的研發與生產上具有開創性
地位——1958年，其工程師Willi Becker博士發明了一臺渦輪分子泵，奠
定了現代渦輪分子泵的技術基礎。產品廣泛應用于半導體、真空鍍膜、粒
子加速器、分析儀器、化工等多個領域，為客戶提供全鏈條真空解決方案
。
PFEIFFER真空泵產品體系豐富，涵蓋旋片泵、渦輪分子泵、隔膜泵、螺桿
泵、羅茨泵等多個品類，各系列針對不同真空需求場景優化設計，兼具可
靠性與專業性。作為PFEIFFER真空的核心優勢產品，渦輪分子泵屬于動能
傳輸真空泵，通過轉子葉片與氣體分子的動量轉移實現抽氣，適用于高真
空場景，廣泛應用于半導體、真空鍍膜、粒子加速器等領域。
核心技術
- 軸承技術：采用兩種成熟設計——復合軸承懸?。ㄓ来泡S承+陶瓷球軸
承，普發真空40多年前發明，已量產超100萬臺，可靠性高）和五軸主動
磁懸?。〝底蛛娮涌刂齐姶盆F懸浮轉子，無機械接觸、免維護，無碳氫化
合物污染風險，抗振動性能優異）；
- 抽氣性能：核心參數為抽氣速度與壓縮比，均與氣體類型相關，對小分
子氣體（如氫氣）具有高壓縮比，部分型號抽氣速度可達2800 l/s，能實
現低于101 hPa的高真空；
- 驅動控制：配備電子驅動裝置，支持90-240V AC及24V/48V DC供電，通
信接口涵蓋RS-485、Devicenet、Profinet等，部分控制器可遠程操作，
適配自動化系統集成。
PFEIFFER隔膜泵通過柔性隔膜上下運動產生真空，泵體采用密封設計，將
壓縮腔與電機隔離，避免泵出介質被齒輪油污染，可生成干燥、無雜質的
真空環境。產品分為2級、3級、4級多種規格，少級型號抽速更高，多級
型號能實現更低壓力；部分型號配備直流電機，能耗較標準型號降低80%
以上，節能優勢顯著。
適用場景包括真空過濾、真空蒸餾、涂層工藝等，
同時可作為渦輪分子泵的前級泵，或集成于質譜儀、檢漏儀等小型分析系
統。針對腐蝕性氣體場景，提供碳增強隔膜及耐腐蝕殼體版本，適配工藝
需求。
- 熱傳導式真空計：適用于粗真空至中真空區間（1000 hPa - 10?3 hPa
），基于氣體熱傳導系數隨壓力變化的原理實現測量。產品采用抗污染探
頭設計，部分型號配備溫度補償功能，可抵消環境溫度波動對測量結果的
影響，適配含輕微可凝性氣體的工況，安裝便捷且維護成本低。
- 電離式真空計：聚焦高真空區間（103 hPa - 1011 hPa），分為冷陰極
與熱陰極兩種類型。冷陰極型號采用磁控放電原理，抗污染能力強、使用
壽命長，無需加熱燈絲，適合嚴苛工業場景；熱陰極型號測量精度更高，
響應速度快，能捕捉真空度細微變化，廣泛應用于實驗室及高精度工藝場
景，部分型號具備燈絲保護功能，避免過載損壞。
