| 品牌 | ALICAT | 型號 | MFC |
| 貨號 | MFC | 工作溫度 | -20-50℃ |
| 測量范圍 | 0.6m3/h | 精度等級 | 0.1 |
| 測量精度 | 0.1 | 安裝形式 | 無要求 |
| 重量 | 0.8kg | 加工定制 | 是 |
| 是否進口 | 是 |
美國Alicat品牌質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥
測量與控制過程氣體的質量流量體積流量和壓力，還可同時測量并顯示
氣體溫度。
美國ALICAT
氣體質量流量控制器
氣體質量流量控制器內部無可移動組件和熱元件通過抗振動測試
對安裝方向不敏感。Alicat提供總體的用戶支持，包括技術咨詢
快捷的設備校準服務和質保。
標準精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS
有效范圍0.5-100%
內置90-130條氣體曲線可選
響應速度100MS
多種數字信號可選
美國Alicat品牌質量流量控制器
性能參數
| 性能/參數
| 美國alicat質量流量控制器
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流量范圍
| 0.5SCCM-5000SLPM
可自行修改流量單位如kg/h、g/min等
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標定氣體
| 內置90條氣體可選擇
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精度(調零后)
| ±(0.8%Rd+0.2%FS)
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高精度(調零后)
| ±(0.4%Rd+0.2%FS) ,限于5SCCM-500SLPM
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重復性
| ±0.2%FS
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漂移(零點/滿量程)
| 0.02% F.S/oC/Atm
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工作范圍
| 0.5-100%
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響應時間
| 100毫秒 (調整)
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啟動預熱時間
| 1秒內
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標準工況
| 25oC & 14.696 psia，可自定義修改
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工作溫度范圍
| -10~-50℃(另有高溫訂制品)
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工作濕度范圍
| 0-100%RH(非冷凝)
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工作壓力
| 10Bar
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安裝方向
| 任意
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閥門狀態
| 常閉
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材質
| SUS302\303\304不銹鋼、密封圈VITON
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顯示屏
| 背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度
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數字信號
| 標準RS232
選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet
以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
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模擬信號
| 標準0-5V/1-5V/0-10V
選配:4-20mA
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第二路模擬信號
| 標準0-5V/1-5V/0-10V
選配:4-20mA
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電氣接口
| 標準圓形8芯
選配:圓形6芯、DB9、DB15
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供電電壓
| +24VDC
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消耗電流
| 20SLPM以內：250mA
50SLPM以內：750mA
注：5000SLPM消耗2000mA電流
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美國Alicat品牌質量流量控制器
壓損、管路接口
| 流量
| 壓損(PSID),排放大氣中
| 接口
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0.5-50SCCM
| 1.0
| 1/8NPT母螺紋
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100-500SCCM
| 1.0
| |
1SLPM
| 1.5
| |
2SLPM
| 3.0
| |
5SLPM
| 2.0
| |
10SLPM
| 5.5
| |
20SLPM
| 20.0
| |
50SLPM
| 2.0
| 1/4NPT母螺紋
|
100SLPM
| 3.2
| |
250SLPM
| 2.4
| 1/2NPT母螺紋
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500SLPM
| 6.5
| 3/4NPT母螺紋
|
1000SLPM
| 14.0
| |
1500SLPM
| 17.0
| |
2000SLPM
| 28.6
| |
3000SLPM
| 16.8
| 1-1/4NPT母螺紋
|
5000SLPM
| 14.1
| 2”NPT母螺紋
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使用注意 美國Alicat品牌質量流量控制器
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進水/油、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質量流量控制器的時候，進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
五：通氣體時，請先開氣源，后設定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進行設定。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態 再操作。
