| 品牌 | GRYLLS格里爾斯 | 型號 | 5930DD4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 12mmmm |
| 工作溫度 | 0-80℃ | 測量范圍 | 0-10SLMm3/h |
| 精度等級 | 0.5%FS | 測量精度 | 0.5%FS |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規格 | 差壓 |
重慶模擬量液體質量流量控制器5930D4
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
重慶模擬量液體質量流量控制器5930D4
主要技術指標
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環境溫度
| 0~70℃
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9
| 數字量
| RS485 MODBUS協議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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重慶模擬量液體質量流量控制器5930D4
氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
為解決這些挑戰，新模塊在提供電壓和測量電流時，支持的電纜長度和連接電容都要超過傳統SMU。4201-SMU和4211-SMU是為采用長電纜、開關矩陣、通過柵極接觸卡盤及其他夾具的測試裝置專門設計的。這就讓研究人員和制造測試工程師節省了大量的時間和成本，而這些時間和成本本來可以花費在故障排除和重新配置測試設置上?！耙驗橐档碗娏鱽砉澥∧芎?，精細測試裝置所產生的高負載電容正成為一個日益嚴重的問題。在測試智能手機或平板電腦采用的大型LCD面板時，就面臨著同樣的問題。
