| 材質 | 不銹鋼 | 承壓強度 | 大于10t/m2 |
| 電源 | 380V±10%、50Hz | 壓力恢復速率 | ～10kPa/min(可充氮氣) |
| 降壓速率 | 常壓～1×10-3Pa 時間≤90min | 溫度波動度 | ≤±0.5 ℃（℃） |
| 溫度均勻度 | ±2℃（%） | 外部輸入 | 外部傳感器端口、USB數據借口（標準型） |
| 冷卻能力 | 5.6kw | 溫度傳感器 | 鉑電阻100 |
真空系統：測試使用真空度：10mTorr(1mTorr=0.133Pa)。
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| 材質 | 不銹鋼 | 承壓強度 | 大于10t/m2 |
| 電源 | 380V±10%、50Hz | 壓力恢復速率 | ～10kPa/min(可充氮氣) |
| 降壓速率 | 常壓～1×10-3Pa 時間≤90min | 溫度波動度 | ≤±0.5 ℃（℃） |
| 溫度均勻度 | ±2℃（%） | 外部輸入 | 外部傳感器端口、USB數據借口（標準型） |
| 冷卻能力 | 5.6kw | 溫度傳感器 | 鉑電阻100 |
真空系統：測試使用真空度：10mTorr(1mTorr=0.133Pa)。
