| 品牌 | 格里爾斯GRYLLS | 型號 | 8101D4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 16mmmm |
| 工作溫度 | -198-400℃ | 測量范圍 | 0-6000SLMm3/h |
| 精度等級 | 1%FS | 測量精度 | 1%FS |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規格 | 科氏 |
安徽數字量氣體流量控制器8110DD4
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
安徽數字量氣體流量控制器8110DD4
主要技術指標
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
|
3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
|
4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
|
5
| 響應時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
|
6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
|
7
| 耐壓
| 3MPa
|
8
| 工作環境溫度
| 0~70℃
|
9
| 數字量
| RS485 MODBUS協議
|
10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
|
11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
|
12
| 電氣連接
| DB15
|
13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
|
14
| 底座材質
| 316L不銹鋼
|
15
| 密封材質
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
|
16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
|
安徽數字量氣體流量控制器8110DD4
氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
反射系數法是通過測量漏蘭姆波的頻散曲線來確定材料的性質,但測量難度較大。傅里葉變換只能處理線性非平穩的信號。小波變換法雖然在理論上能處理非線性非平穩信號,但是同傅里葉變換、短時傅里葉變換法一樣,都受Heisenberg測不準原理制約,即時間窗口與頻率窗口的乘積為一個常數,這就意味著如果要提高時間精度就得犧牲頻率精度,反之亦然。當蘭姆波中不同模態的頻率比較接近時,不適用小波變換處理信號。動態光彈法能從Lamb波的應力分布觀察到傳播和頻散,但是在實際檢測中對硬件要求較高。
