| 品牌 | 格里爾斯GRYLLS | 型號 | 8110D4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 16mmmm |
| 工作溫度 | -198-400℃ | 測量范圍 | 0-2000SLMm3/h |
| 精度等級 | 1%FS | 測量精度 | 1%FS |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規格 | 科氏 |
江西科氏力液體質量流量計5951DD4
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
江西科氏力液體質量流量計5951DD4
主要技術指標
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環境溫度
| 0~70℃
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9
| 數字量
| RS485 MODBUS協議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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江西科氏力液體質量流量計5951DD4
氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
也就是說，只要振鈴、過沖和地電平反彈不導致邏輯跳變，那么這些模擬特點對MSO就不是問題。與邏輯分析儀一樣，MSO使用門限電壓，確定信號是邏輯值高還是邏輯值低。MSO4系列可以為每條通道獨立設置門限，適合調試帶有混合邏輯家族的電路。MSO4在其中一個數字探頭適配夾上測量五個邏輯信號，它同時測量三個TTL(晶體管-晶體管邏輯)信號和兩個LVPECL(低壓正發射器-耦合邏輯)信號。MSO2和MSO3系列則為每個探頭適配夾設置門限(一組8條通道)，因此TTL信號將位于個適配夾上，而LVPECL信號則位于第二個適配夾上。
