| 品牌 | 格里爾斯GRYLLS | 型號 | 8110D4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 14mmmm |
| 工作溫度 | -198-400℃ | 測量范圍 | 0-2000SLMm3/h |
| 精度等級 | 1%FS | 測量精度 | 1%FS |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規格 | 科氏 |
陜西差壓式液體質量流量計5921DD4
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
陜西差壓式液體質量流量計5921DD4
主要技術指標
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環境溫度
| 0~70℃
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9
| 數字量
| RS485 MODBUS協議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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陜西差壓式液體質量流量計5921DD4
氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
使用低通濾波器(如RC濾波器)，或者使用共模扼流圈來過濾輸入信號，可以減少共模噪聲。重要的是，不對稱衰減的共模噪聲會產生差模噪聲。在實際應用中，不對稱衰減的一個例子是低通濾波器;用一個電阻和電容實現截止頻率，但受元件容差影響，兩條線路中的截止頻率不一樣。第二種，也是最麻煩的噪聲是差模噪聲，這種噪聲是在激勵與系統GND之間耦合的。該噪聲之所以會耦合到信號中，是因為系統GND與充當天線的信號電纜之間存在電流環路。
