| 品牌 | GRYLLS格里爾斯 | 型號 | 5921D4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 12mmmm |
| 工作溫度 | 0-80℃ | 測量范圍 | 0-10SLMm3/h |
| 精度等級 | 1%RD | 測量精度 | 1%RD |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規格 | 差壓 |
吉林模擬量質量流量計5910DD4
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
吉林模擬量質量流量計5910DD4
主要技術指標
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環境溫度
| 0~70℃
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9
| 數字量
| RS485 MODBUS協議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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吉林模擬量質量流量計5910DD4
氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
使用趨勢圖進行數據分析是很常見的分析方法，工程師結合實驗數據可以得到很多準確、規律性的結果。測量儀器中的趨勢功能如何使用呢?說到趨勢圖，大家可能會有點模糊不清，到底什么是趨勢圖?趨勢圖有什么作用?我們先來看幾個圖片。折線趨勢圖柱狀趨勢圖餅狀趨勢圖上面幾個是常見的趨勢圖的形式，以圖形的形式，表現某些數據在時間上或分類上的變化。在儀器中的趨勢圖是什么樣的呢?以功率分析儀來舉例，功率分析儀測試所得到的趨勢圖，往往以測得的數量為縱軸，以時間為橫軸繪成圖形，用來顯示一定時間間隔一天、一周或一個月)內所得到的所有測量結果，一般以折線圖或點的形式進行展示。
