| 品牌 | 格里爾斯 | 型號 | 5950DD4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 6mmmm |
| 工作溫度 | -20-60℃ | 測量范圍 | 0-20SCCMm3/h |
| 精度等級 | 0.5%RD | 測量精度 | 0.5%RD |
| 安裝形式 | 軟管連接 | 重量 | 1kg |
| 規格 | 熱式 |
甘肅科里奧利氣體流量計5920D4
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
甘肅科里奧利氣體流量計5920D4
主要技術指標
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環境溫度
| 0~70℃
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9
| 數字量
| RS485 MODBUS協議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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甘肅科里奧利氣體流量計5920D4
氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
為了描述物理層結構的特征，還必須進行頻域分析。S參數模型說明了這些數字電路結構所展示出來的模擬特點包括：不連續點反射、頻率相關損耗、串擾和EMI等性能。為使設備性能符合標準，眼圖增加了重要的統計分析功能。為利用特性檢定技術改善仿真能力，可以采用基于測試結果的S參數或RLCG模型提取技術。隨著在多種工作模式下進行數字和模擬綜合分析（時域和頻域）變得越來越重要，要完成這些測試功能，通常需要使用多種測試儀表，同時操作多種儀表正變得越來越困難。
